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上海集成電路裝備材料產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新中心取得熱處理裝置專利,避免機(jī)械手臂在移出晶圓時與承托邊環(huán)發(fā)生碰撞-熱處理展-工業(yè)爐展-2025第二十五屆廣州國際熱處理、工業(yè)爐展覽會-巨浪展覽—The 25th China(Guangzhou)Int'l Heat Treatment, Industrial Furnace Exhibition 2024年10月8日 熱處理展-工業(yè)爐展-heat treatment expo-furnace expo |
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金融界2024年10月1日消息,國家知識產(chǎn)權(quán)局信息顯示,上海集成電路裝備材料產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新中心有限公司取得一項名為“一種熱處理裝置”的專利,授權(quán)公告號CN 221783165 U,申請日期為2023年12月。
專利摘要顯示,本實用新型公開了一種熱處理裝置,包括工藝腔室和傳感器組件;工藝腔室內(nèi)設(shè)置有承托邊環(huán),承托邊環(huán)用于支撐晶圓;傳感器組件設(shè)置于工藝腔室內(nèi),傳感器組件包括用于發(fā)射信號的第一傳感器和用于接收第一傳感器發(fā)射信號的第二傳感器;當(dāng)承托邊環(huán)位于第一位置時,承托邊環(huán)遮擋第一傳感器發(fā)射的信號,當(dāng)承托邊環(huán)位于第二位置時,第二傳感器接收第一傳感器發(fā)射的信號;或,當(dāng)承托邊環(huán)位于第一位置時,第二傳感器接收第一傳感器發(fā)射的信號,當(dāng)承托邊環(huán)位于第二位置時,承托邊環(huán)遮擋第一傳感器發(fā)射的信號;承托邊環(huán)的第二位置位于承托邊環(huán)的第一位置的上方。本實用新型提供的熱處理裝置,避免了機(jī)械手臂在移出晶圓時與承托邊環(huán)發(fā)生碰撞。
熱處理展-工業(yè)爐展-2025第二十五屆廣州國際熱處理、工業(yè)爐展覽會-巨浪展覽—The 25th China(Guangzhou)Int''l Heat Treatment, Industrial Furnace Exhibition
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